プラズマエレクトロニクス研究室

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ようこそ プラズマエレクトロニクス研究室へ


 第4の物質状態である「プラズマ」は、スマートフォンなどの携帯電話、タブレット型コンピュータ、ノートパソコンなどの中にある大規模集積回路(LSI:10万個の部品が入った電子回路)の 超微細加工(髪毛の1000分の1のサイズの加工)や、コンビニ・銀行のATMやスマートフォンなどのタッチパネル、太陽電池、液晶テレビなどに使われている透明で電気を通す薄膜(透明導電膜と呼ぶ)などを合成するために、 欠かせない技術となっています。「プラズマ」は、このような最先端エレクトロニクスを支える基盤技術となっています。

 本研究室では、グリーン・イノベーションの実現に向けた「環境にやさしい省エネルギー型の高効率プラズマ処理装置」の開発や「プラズマを用いた電気電子材料機能性薄膜合成」などに関する研究を行っています。

 また、学位取得(社会人博士後期課程)等に関しましても、気軽にご相談下さい。少しでもお役に立てればと思います。

インフォメーション

2016/11/22

産業技術総合研究所との連携大学院共同研究で実施した回転型レーストラック状マグネトロンスパッタによる銅ターゲット有効利用に関する学術論文がSurface & Coatings Technologyに掲載されました。new!!

2016/11/22

第32回九州・山口プラズマ研究会を11月19日、20日に本研究室が担当幹事として開催いたしました。new!!

2016/11/11

博士前期課程大学院生4名と卒業研究生4名が12月17日と18日に九州大学伊都キャンパスで開催される第20回プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部大会に講演申込みをしました。new!!

2016/10/24

博士前期課程大学院生2年生の3名が電気学会プラズマ・パルスパワー・放電合同研究会にて修士研究成果を口頭発表しました。

2016/10/17

卒業研究生4名が10月15日に開催された平成28年度学士論文中間発表会にて学士研究成果を口頭発表しました。

2016/10/14

2016年度進路(速報(内定))を追加しました。

博士後期課程大学院生2年生が10月10日ー14日の期間にドイツのルール大学ボッフム校で開催される国際学会69th Annual Gaseous Electronics Conferenceにて、研究成果を口頭発表しました。

2016/8/9

国際交流(日本語版)を一部更新しました。

2016/5/16

博士後期課程学生が10月10日ー14日の期間にドイツのルール大学ボッフム校で開催される国際学会69th Annual Gaseous Electronics Conferenceに研究成果を投稿しました。

2016/5/20

博士後期課程学生が投稿した学術論文がVacuumに掲載されました。

2016/4/5

博士前期課程(修士)1名、学部4年生4名が新たに研究室に配属されました。

2016/4/5

アメリカ合衆国ウエストバージニア大学との国際共同研究で行った研究成果がPhysics of Plasmaに掲載されました。


お問い合わせ先:ohtsuy(a)cc.saga-u.ac.jp、 (a)を@に変えて送信ください。

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