プラズマエレクトロニクス研究室(大津研）
ようこそ プラズマエレクトロニクス研究室へ
グローバル化と共に、今後、DX（デジタル・トランスフォーメーション）やGX（グリーン・トランスフォーメーション）の進展に伴い、AI（人工知能）を使った様々なシステムのデジタル化や車の自動運転などが進んでいきます。それらを実現するためには、最先端半導体デバイスが今後大量に必要になっていくと共に、その高性能化（半導体の線幅がナノメートルサイズへ：１ナノメートルは、髪毛の10万分の１のサイズです。）も要求されていきます。そこで、「プラズマ」の出番です。第４の物質状態である「プラズマ」は、スマートフォンなどの携帯電話、タブレット型コンピュータ、ノートパソコンなどの中にある半導体デバイスである大規模集積回路（LSI：10万個の部品が入った電子回路)の ドライエッチング（ナノメートルサイズの加工可能）や、コンビニ・銀行のATMやスマートフォンなどのタッチパネル、太陽電池、液晶テレビなどに使われている透明で電気を通す薄膜（透明導電膜と呼ぶ）など半導体薄膜を合成するために、 欠かせない技術となっています。「プラズマ」は、このような最先端エレクトロニクスを支える基盤技術となっています。
本研究室では、カーボン・ニュートラルの実現に向けた「環境にやさしい省エネルギー型の半導体プロセスのための高効率プラズマ処理装置」の開発や「プラズマを用いた機能性薄膜、例えば、超撥水性膜合成を使った熱交換器の高性能化」などに関する研究を行っています。このように、本研究室では、これからの最先端半導体製造に欠かせない「プラズマ」の研究・開発を行うことができますので、是非興味のある方は、ご遠慮なくメールアドレス（ohtsuyの後に@cc.saga-u.ac.jpをつけて下さい。）宛お知らせください。
教員がこれまでの研究成果を著書「高密度高周波容量結合型プラズマの物理（英語版）Intechopen」として出版しました。オープンアクセス（無料：ただし登録必要）にてダウンロードできます。また、スパッタリング材料の有効利用のために開発した回転型レーストラック型マグネトロスパッタ装置として、産業技術総合研究所との連携大学院共同研究で実施してまとめ、国際的な学術雑誌Surface & Coating Technologyに 掲載されました学術論文がカナダのリサーチ社Advances in Engineeringに紹介されました。更に、スパッタ装置に関する最近の研究成果を国際共同研究としてまとめたテキストChapter 5. Characteristics of Novel Rotational Magnetron Sputtering Plasma Sources with Various Magnet Arrangements for Target Utilization Saving ResourcesがNova Science Publishers社にて出版されました。
半導体デバイス作製に広く利用されていますプラズマの発生原理、発生方法、プラズマの計測方法（静電プローブ）などについて、教育セミナーや基礎実験受託などをお引き受けいたします。ご遠慮なくお問い合わせください。学位取得（社会人博士後期課程）等に関しましても、気軽にご相談下さい。少しでもお役に立てればと思います。
最新の研究成果の概要をまとめた資料を作成しました。
2025/3/11
大学院博士前期課程1年生2名が3月10日の中間セミナーにおいて修士研究成果を発表しました。有益なコメントをいただきました。new!!
2025/3/7
大学院生と教員が国際シンポジウム17th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (日時：2025年3月3日ー7日、場所：中部大学）において、研究成果をポスター講演にて報告しました。同会では、貴重なコメントをいただき、有益な討論を行うことができました。new!!
2025/3/1
国立研究開発法人 産業技術総合研究所センシングシステム研究センターおよびドイツ・ルール大学ボーフム校電気情報工学部との国際共同研究にて実施した研究プロジェクトの成果をまとめた学術論文が国際的なジャーナルVacuumの2025年7月号として掲載されることが決まりました。new!!
2025/2/25
国立研究開発法人 産業技術総合研究所センシングシステム研究センターおよびドイツ・ルール大学ボーフム校電気情報工学部との国際共同研究にて実施した研究プロジェクトの成果をまとめた学術論文が国際的なジャーナルVacuumにArticles in pressとして掲載されました。
2025/2/19
国立研究開発法人 産業技術総合研究所センシングシステム研究センターおよびドイツ・ルール大学ボーフム校電気情報工学部との国際共同研究にて実施した研究プロジェクトの成果をまとめた学術論文が国際的なジャーナルVacuumに掲載が決定しました。
2025/2/19
大学院生と卒業研究生がそれぞれ2月17日と18日に学位論文に関する研究成果を最終発表会にて口頭発表しました。
2025/2/12
教員がこれまでの研究成果をまとめた著書「高密度高周波容量結合型プラズマの物理（英語版、オープンアクセス（ダウンロード無料））Intechopen」のダウンロード数が1950を超えました。ありがとうございます。
2025/2/7
大学院生2名と卒研生6名が学位論文をコース主任に提出しました。
2025/1/23
大学院生と教員が国際シンポジウム17th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (日時：2025年3月3日ー7日、場所：中部大学）へ投稿したアブストラクト論文がポスター講演として採択されました。
2024/12/27
大学院生と教員が17th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (日時：2025年3月3日ー7日、場所：中部大学）へ博士研究成果とプロジェクト研究の成果に関するアブストラクトをそれぞれ投稿しました。
2024/12/20
2018年9月に博士後期課程（本研究室所属）を卒業しましたMd. Amzad Hossain氏がバングラデシュの国立大学Jashore University of Science and Technologyの工学部長に就任されました。お祝い申し上げます。
2024/12/16
本研究室がSEMICON JAPAN 2024（期間：12月11日（水）～13日（金）、場所：東京ビッグサイト）に出展し、アカデミアエリアにて研究紹介を行いました。多数のご来場ありがとうございました。
2024/11/16
大学院生と教員が第４５回ドライプロセスに関する国際シンポジウム (日時：2024年11月14日ー15日、場所：千歳市民文化センター）へ投稿した博士研究成果とプロジェクト研究の成果に関するポスター講演を行いました。有益な討論やコメントをいただきました。
2024/10/31
最新の研究成果の概要をまとめた資料を作成しました。
2024/10/28
卒業研究生が10月26日に研究成果を学士論文中間発表会にて口頭発表しました。有益なコメントをいただきました。
2024/10/2
後学期が開講されました。卒業研究生が10月26日に研究成果を学士論文中間発表会にて口頭発表する予定です。
2024/9/24
大学院生1名が国際インターン研修の一環として国際パートナーシップ（9月19日ー23日：武漢大学）に出席し博士研究成果の講演を行いました。
2024/9/20
大学院生4名が第85回応用物理学会秋季学術講演会(9/16-20：朱鷺メッセ＆オンライン)にて修士研究成果をオンラインにて口頭発表を行いました。有益なディスカッションとコメントをいただきました。
2024/9/13
大学院生と教員が第４５回ドライプロセスに関する国際シンポジウム (日時：2024年11月14日ー15日、場所：千歳市民文化センター）へ投稿した博士研究成果とプロジェクト研究の成果をまとめ投稿した国際会議abstract論文が両方とも採択されました。
2024/9/10
本年度の卒業・修了予定者の進路が確定しましたので、進路先を更新しました。
2024/8/20
教員がこれまでの研究成果をまとめた著書「高密度高周波容量結合型プラズマの物理（英語版、オープンアクセス（ダウンロード無料））Intechopen」のダウンロード数が1900に達しました。ありがとうございます。
2024/8/9
8月8日（木）午前と午後に本学オープンキャンパスにて、高校生が電気電子工学部門の研究室見学先の一つとして当研究室の実験室を訪問されました。多数のご来場いただきまして誠にありがとうございました。
2024/8/5
当研究室のSEMICON JAPAN 2024（期間：12月11日（水）～13日（金）、場所：東京ビッグサイト）のアカデミアへの出展が決定しました。
2024/7/16
大学院生が博士研究成果をまとめた学術論文が国際的なジャーナルVacuumに227巻、9月号のIn progressとして掲載されました。
2024/7/16
国立研究開発法人 産業技術総合研究所センシングシステム研究センターおよびドイツ・ルール大学ボーフム校電気情報工学部との国際共同研究にて実施したプロジェクト研究の成果をまとめた学術論文が国際的なジャーナルJournal of Vacuum Science and Technology Bにオンライン出版されました。
2024/7/12
大学院生と教員が第４５回ドライプロセスに関する国際シンポジウム (日時：2024年11月14日ー15日、場所：千歳市民文化センター）へ、博士研究成果とプロジェクト研究の成果をまとめた国際会議abstract論文をそれぞれ投稿しました。2024/7/12
大学院生が博士研究成果をまとめた学術論文が国際的なジャーナルVacuumにArticle in pressとして掲載されました。
2024/7/10
大学院生の博士研究成果をまとめた学術論文が国際的なジャーナルVacuumに掲載が決定しました。
2024/6/21
国立研究開発法人 産業技術総合研究所センシングシステム研究センターおよびドイツ・ルール大学ボーフム校電気情報工学部との国際共同研究にて実施した研究成果をまとめた学術論文が国際的なジャーナルJournal of Vacuum Science and Technology Bに掲載が決定しました。
2024/6/19
佐賀県内工業高校生が電気電子工学部門の研究室見学先の一つとして当研究室の実験室を訪問されました。
2024/6/18
大学院生4名が第85回応用物理学会秋季学術講演会に修士研究成果を口頭講演として登壇申込みしました。
2024/6/6
佐賀県立致遠館高校の理数科2年生10名がSSH事業「青鵲課題研究「Specialized Laboratory Visit」」の一環で、電気電子工学部門の研究室見学先の一つとして、当研究室の実験室を訪問されました。
2024/5/16
国際的なジャーナルJournal of Vacuum Science and Technology Aに掲載されました学術論文のハイライト画像がVol.42, Issue 3, May, 2024, 5月号の表紙を飾りました。
2024/4/19
ドイツ・ルール大学ボーフム校との国際共同研究にて実施した研究成果をまとめた学術論文が国際的なジャーナルJournal of Vacuum Science and Technology Aにてオンライン出版され、Featured Aritclesに選ばれました。
2024/4/3
ドイツ・ルール大学ボーフム校との国際共同研究にて実施した研究成果をまとめた学術論文が国際的なジャーナルJournal of Vacuum Science and Technology Aにて掲載可となりました。
2024/4/3
メンバーを更新しました。
2024/4/2
大学院博士前期課程1年生2名と卒業研究生6名が研究室に配属されました。新しいメンバー体制でこの1年間、教育・研究活動を実施していきます。
過去の情報はここからご覧いただけます。
お問い合わせ先：ohtsuy（ａ）cc.saga-u.ac.jp、 (a)を＠に変えて送信ください。
