佐賀大学 理工学部電気エネルギー工学コース、電子デバイス工学コース パワー半導体研究室(嘉数研究室)

研究設備

ダイヤモンド結晶成長装置(マイクロ波プラズマCVD装置)

ダイヤモンド・トランジスタに用いる高純度のダイヤモンド結晶を作製します。

超高感度エミッション顕微鏡

新天体の観測に使う超高感度電子倍増型CCDカメラで、動作中のパワー半導体デバイスを観測し、結晶欠陥を介して流れるリーク電流による微弱な光を捉えることのできるオリジナルの顕微鏡装置です。

ワイドギャップ半導体・結晶成長装置(分子線エピタキシー装置)

窒化物半導体を作製する装置です。

高温デバイス測定装置

高温(1000℃)でダイヤモンドFETや酸化ガリウム、IGBT、パワーMOSの測定を行います。

フォトリソグラフィー装置

フォトマスクを使って、半導体ウェハー上にデバイス構造をパターニングする装置です。2~3ミクロンメートルのパターンを作ることが出来ます。

原子間力顕微鏡

半導体表面の形態(モフォロジー)を原子レベルで観察することができます。作成中の半導体デバイスの確認するときにも使われます。

トランジスタ特性測定装置

作成したトランジスタの特性を測定します。

原子層堆積測定(ALD)

ダイヤモンド素子のMOS構造の絶縁膜の堆積を行います。オリジナルの設計の装置です。

シンクロトロンX線トポグラフィー装置

九州シンクロトロン光研究センターのビームラインを使って、X線トポグラフィーの研究を行っています。

吉野ヶ里メガソーラー高速測定システム(神崎市)

NEDOプロジェクトで当研究室で構築した測定システムです。